Ko te whakaurunga o High NA EUV he otinga tino arotau ki te taumata punaha e whakataurite ana i te kai hiko taputapu me te iti ake o te uaua o te tukanga me te tuku waro.

He Papamuri: Kei te Toia Nga Tukatuka Arā Atu Anō e te Matatini

I te mea kei te mimiti haere tonu nga pona tukanga me te heke o te papa whakarewa, ka whakawhirinaki nui te Low NA EUV tuku iho ki nga kaupapa tauira-maha penei i te LELE.Ko tenei ka arahi ki te piki haere o nga mahi tukanga, ka puta mai:

• Te uaua o te tukanga
• He maha atu nga waahanga hangahanga
• Te piki ake o te whakapau kaha me te tuku waro

Tikanga Matua: Whakatau Lithography = Roa Ngaru + NA

He hononga matua kua tohua i roto i te ripoata: NA teitei ake → taumira kaha ake → tauira pai ake i roto i te whakaaturanga kotahi.

Ko te tikanga ko nga tauira i hiahiatia kia rua nga whakaaturanga ka taea te whakaoti i te kotahi.

Te Uara Tuturu o te NA High: Ehara i te mea he kaha ake, engari he iti ake nga hikoinga

Whakatauritenga matua:

NA EUV iti: LELE (e rua nga hikoinga litho + e rua nga hikoi tuitui)
NA EUV teitei: Te whakakitenga kotahi (kotahi te hikoi litho + kotahi te hikoi etch)

Ma te whakaiti i nga hikoi mahi, ka whakaheke tika te NA High NA i te whakamahinga o te kaha o te taumata-punaha me te tukunga.

Te Whakamutunga Whakatau: Te Hinga ake o te Mana Utauta, Te Wao Tapeke Raro

Koinei te tirohanga tino nui o te ripoata:

Meka paetata:
Ko nga kaitirotiro NA EXE teitei ka pau ake te mana mo ia taputapu.

Hua taumata-pūnaha:
He iti ake nga hikoi lithography → he iti ake nga hikoi etch → he iti ake te paunga hiko katoa.

He tino teitei ake nga tuku waro ki te Low NA LELE: - Utauta etch: tata 2× - Pungao Lithography: ~1.5×

Ko te tango tino nui: He mea nui ake te whakaiti i nga hikoinga i te penapena hiko i runga i te taputapu kotahi.

Nga Herenga Tika: Ko te NA teitei ehara i te tina kore utu

Ko te ripoata e whakaatu marama ana i nga whakawhitinga matua:

1. Te herenga urunga (maamaatanga matua)
Ka whakamahi te High NA i te haurua o te mara, ka whakaiti i te waahi e kitea ana mo ia karapa. Ma tenei ka iti ake te whakaputanga ma te 30%–40%.

2. He nui ake nga hiahia mo te tukanga me te hoahoa
Ko te pai o te whakatakotoranga, te horopeta whakakitenga, me te rahi o te mara me arotau katoa. Ahakoa he iti ake te whakaputanga, kei te noho tonu nga tuku waro katoa ki raro i nga momo rereke NA Iti.

Takeaways Matua

• He mea nui te NA teitei mo te haere tonu o te whakahiato node
• Ka whakaitihia te uaua ma te whakakore i te tauira-maha
• Ahakoa te kaha ake o te mana taputapu, he iti ake nga tapuwae waro katoa
• Ko te arotautanga a meake nei e aro ana ki te whakaputanga me te mahi tahi-arotautanga

Whakamutunga

Ko te uara o High NA EUV ehara i te mea "kaha ake," engari he "maamaa ake." Ka whakaaetia e ia te utu nui ake o te rohe kia iti ake te uaua o te punaha me te whakapau kaha katoa.